派瑞林真空鍍膜機 Parylene鍍膜系統專為實驗室應用優化設計，配備內置等離子體源，可用于材料表面預處理，可以有效提升膜基結合性能。派瑞林鍍膜（Parylene）是一種通過化學氣相沉積（CVD）工藝形成的超薄聚合物保護層，具有分子級均勻覆蓋、化學惰性、優異介電性能及生物相容性等特點?。

該型號的派瑞林真空鍍膜機 Parylene鍍膜系統具有以下特點：

1、該型號Parylene鍍膜系統既適用于科研實驗室，也可用于生產環境；

2、特別針對中小型企業和研發團隊的需求進行功能優化；

3、通過配置多種可選組件，進一步提升設備的適用性與靈活性，其工藝腔室容積可根據需求調整，最小容積可達 251 L；

4、設備標準配置包含等離子體處理模塊；

5、提供潔凈室專用版本供選擇；

Parylene涂層典型應用：

?電機防護?：微型電機繞組、軸承的防腐蝕與潤滑保持，鹽霧壽命提升10倍?

?半導體封裝?：芯片級防潮、MEMS器件三維結構保護及晶圓臨時鍍膜?

?LED照明?：提升光提取效率、散熱性能及耐候性，壽命延長至7萬小時?

?汽車電子?：ECU模塊防護，耐受-40~150℃溫度波動及鹽霧環境?

Labcoater Series 300 派瑞林真空鍍膜設備：

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